Vakuuminės aplinkos sudarymas, metodai ir priemonės

Įvadas. Vakuuminė technologija. Vakuumo panaudojimas. Tyrinėjimai. Vakuuminė įranga. Vakuumo sudarymo priemonės. Mechaniniai siurbliai. Aukšto vakuumo gariniai siurbliai. Molekuliniai ir turbomolekuliniai siurbliai. Siurbliai su terminiu titano išdulkinimu. Difuziniai siurbliai. Kriogeniniai siurbliai. Išvados.